上海曙光機(jī)械制造廠(chǎng)有限公司
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航天航空環(huán)境模擬設(shè)備目前最大做到直徑7米、長(zhǎng)度9.5米，極限真空為2×10-6Pa
高真空和超高真空機(jī)組分為主要是飛行器的零件、部件和整件的空間環(huán)境模擬試驗(yàn)用的
大學(xué)教研室直徑是300mm和500mm.研究所用的鐘罩式和箱式直徑是300mm和500mm
最大直徑為1.8米，最大高度為2米
最大寬幅做到1.6米.最多靶材做到7個(gè)靶位9個(gè)靶最大速度做到20米/分鐘，均勻性≤3%
最大寬幅已經(jīng)做到2.5米.卷徑最大為1.1米.最大鍍膜速度是800/分鐘有圓形機(jī)和方形機(jī)，也有鼓鍍和懸浮鍍
2005年研制成功用于鍍制衛(wèi)星和飛船專(zhuān)用膜的JCJ-1200/3磁控濺射卷繞鍍膜設(shè)備。
鍍膜機(jī)全部工作按設(shè)定的工藝曲線(xiàn)運(yùn)行；蒸發(fā)功率、送絲速度、卷繞張力、走膜速度、膜層厚度等參數(shù)由計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控、顯示、打??；鍍膜機(jī)全部工作過(guò)程可以在工廠(chǎng)的計(jì)算機(jī)房進(jìn)行監(jiān)視和數(shù)據(jù)儲(chǔ)存。
該款設(shè)備是在半自動(dòng)的基礎(chǔ)上改造升級(jí)而成
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